根據我國的《潔凈室施工驗收規范》和國際標準 ISO 14644-4 《潔凈 室的設計與施工》中的有關要求,潔凈室工程援工驗收的檢測內容如下。靜壓差測試;風速或風量測試、通風機風量、轉數;高效過濾器的世漏檢測:溫度、相對濕度、氣流流型、自凈時間;照度測定、防靜電性能測定、噪聲測定、微振測定。 若潔凈室內設有商純水、高純氣等供應系統時,還應根據建設方的要求進行商純水、高純氣供應配管的試壓、泄漏量和污染狀況等的測試工作,以確保高純水、商純氣使用點水 質、氣體純度要求。
空氣潔凈度等級 | 小于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m2) | ||||||||
ISO標準 | 中國標準 | 0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | ||
1級 | 10 | 2 | |||||||
2級 | 一級 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||||
3級 | 五級 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |||
4級 | 十級 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |||
5級 | 百級 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 | ||
6級 | 千級 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 | ||
7級 | 萬級 | 352000 | 83200 | 2930 | |||||
8級 | 十萬級 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||||
9級 | 三十萬級 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||||